| 型号： | KS-FT200/300 前道8/12寸 |
| 产地： | 辽宁 |
| 品牌： | 芯源 |
| 评分： |
|
1.产品概述：
KS-FT200/300系列堆叠式高产能道涂胶显影机，为我司自主研发的突破晶圆道28nm工艺节点及以上工艺制程，适用于ArF、KrF、I-Line、PI、BARC，SOC，SOD，SOG等多种材料涂覆显影工艺的机台。支持与光刻机联机作业。该系列机台通过各种行业认证，占地面积小、可靠性高、易于维护，满足各种功能芯片制程需求。
2.产品优势：
1. 堆叠式高产能架构，占地面积小
2. 可与光刻机联机，满足工厂自动化需求
3. 配备多段回吸的多腔体共用供胶系统，有效节省光刻胶的用量
4. 选配高精度热板、WEE、AOI等单元部件，满足更高标准工艺需求
5. 核心单元模块化设计，组合方式灵活多变，大限度客制化
3.应用域：
● 逻辑电路
● CMOS射频电路
● 功率器件
● MEMS系统芯片
● 闪存内存
● CIS
● 驱动芯片
● OLED等
相关产品
关注
拨打电话
留言咨询
