| 型号： | GEN10 |
| 产地： | 美国 |
| 品牌： | VEECO |
| 评分： |
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1. 产品概述：
GEN10™ MBE 系统是成熟平台中经济、灵活的簇状工具系统，允许多达三个可配置的、特定于材料的生长模块。这使得系统利用率高，允许多个研究人员同时使用该系统，并在无人值守的情况下进行生长和校准。这与 Veeco 组件技术相结合，是 MBE 社区选择 GEN10™ MBE 系统的关键因素，无论应用是什么。
自动晶圆转移可实现高系统利用率，允许多名研究人员同时使用该系统，并在无人值守的情况下进行生长和校准
经济地升到其他增长模块的路径，多三个
集群架构中可配置的、特定于材料的生长模块可在一个真空系统中生长不相容的材料
直接通往更大规模生产 MBE 系统的工艺路径
GEN10™ MBE 系统是成熟平台中经济、灵活的簇状工具系统，允许多达三个可配置的、特定于材料的生长模块。这使得系统利用率高，允许多个研究人员同时使用该系统，并在无人值守的情况下进行生长和校准。这与 Veeco 组件技术相结合，是 MBE 社区选择 GEN10™ MBE 系统的关键因素，无论应用是什么。
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