PMT-2在超纯水颗粒检测里的应用

2023/09/20   下载量: 1

方案摘要

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应用领域 半导体
检测样本 集成电路
检测项目
参考标准 GB/T11446电子级超纯水国家标准

GB/T11446电子级超纯水国家标准对电子级超纯水有一个重要指标,就是颗粒数,用颗粒数的多少来表征超纯水的级别。主要判定50nm和100nm两个粒径,从而来判定超纯水的级别。

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一、方案背景

在实验室和工业生产中,超纯水的质量对于产品的质量和生产的稳定性至关重要。然而,超纯水中的微小颗粒和微生物是影响其质量的主要因素。因此,有效的颗粒检测是保证超纯水质量的必要手段。PMT-2作为一种先进的颗粒检测仪器,在超纯水颗粒检测中具有广泛的应用价值。

二、方案目标

本方案旨在探究PMT-2在超纯水颗粒检测中的应用,通过实验数据评估其性能,并为其在实际生产中的使用提供参考。

三、仪器

PMT-2是一种基于激光散射原理的颗粒检测仪器。它具有高灵敏度、高分辨率和高精度的特点,可以有效地检测超纯水中微小颗粒的存在。

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四、结果解读与判定

实验结果将以图表和数据形式呈现,通过对数据的分析,可以了解超纯水中颗粒的数量、大小及其分布情况。根据实验数据,可以判定超纯水的质量等级,并为后续处理提供依据。

五、注意事项

在使用PMT-2进行超纯水颗粒检测时,应注意仪器的维护和保养,以保证其正常运转。同时,应定期对仪器进行校准,以确保检测结果的准确性。

六、定期监测与评估

为了确保超纯水质量的稳定,应定期使用PMT-2进行颗粒检测。通过对实验数据的分析,可以了解超纯水中颗粒的变化情况,并及时采取措施进行控制。同时,应对PMT-2的性能进行评估,以不断完善其在超纯水颗粒检测中的应用。


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