方案摘要
方案下载| 应用领域 | 半导体 |
| 检测样本 | 其他 |
| 检测项目 | |
| 参考标准 | ISO21501-2 |
检测仪器：液体颗粒计数器，采用光散射法原理。当磷酸里的悬浮粒子通过流通池，激光光束照射到粒子上，经由处理器将收集到的信息转化为粒径大小和数量的信号。进行输出，通过粒子大小和浓度来判定磷酸的电子级等级属于哪个级别。
1.磷酸：主要用于制药、食品、肥料等工业，也可用作化学试剂。作为化学试剂的磷酸就需要其纯度达到电子级别。
2.判定标准：参照SEMI电子化学品国际标准等级表
3.检测仪器：液体颗粒计数器，采用光散射法原理。当磷酸里的悬浮粒子通过流通池，激光光束照射到粒子上，经由处理器将收集到的信息转化为粒径大小和数量的信号。进行输出，通过粒子大小和浓度来判定磷酸的电子级等级属于哪个级别。
4.检测液样：普通磷酸、电子级磷酸。
5.检测步骤：用电子级取样瓶取适量普通纯度的磷酸；
用超声波去除磷酸里的气泡；
将处理好的磷酸放置于液体颗粒计数器进样端；
操作电脑，设置检测时间间隔，开始检测。
6.结果及数据分析：
从上结果可以看出，样品磷酸尚未达到电子级磷酸的标准。提示磷酸生产工艺需要进行该井。
7.注意事项：
样品取样瓶洁净度一定要达到电子级别，减少液样的二次污染。
仪器是校准后的仪器，一定要将仪器放置于百级及以上洁净环境里进行检测。
操作人员严格对自己进行洁净吹扫，穿洁净服，按照规定严格操作仪器测样的流程。
文献贡献者
液体颗粒计数器解决高粘度光刻胶检测方案深度剖析
普洛帝液压油中颗粒污染监测方案
普洛帝研磨液颗粒在线监测方案
相关产品
关注
拨打电话
留言咨询
