POLOS 激光直写光刻机Maskless lithographyPOLOS Beam_价格

产品详情

POLOS NanoWriter是一款多功能紫外激光书写器，具有高精度组件，专为用户提供在光敏层中创建微结构的最高自由度。

分辨率:0.8 - 2.5µm(5µm可选)

波长:405或375纳米

最大基材尺寸:110 × 110毫米

POLOS NanoWriter包括一个405 nm的光学模块，能够在光刻胶层中写入小至0.8微米的结构。这个用户友好的工具支持高达4095级的灰度或纯二进制模式，并允许2.5D光学结构，表面结构以及掩模项目。实时激光控制自动对焦和激光强度控制，确保整个曝光过程中的高质量成像。控制电子设备都安装在框架内，除了控制PC。这个基于微软windows的桌面PC和所有需要的软件都包含在包中。

好处

高品质，低成本的无掩模光刻工具

375nm源可用于i-Line电阻

市场符合0.8µm分辨率

紧凑的光模块:使用一个备用光单元，减少机器停机时间

用户友好的操作

支持高达4“x4”的基板

宽度:580mm

高度:708mm

深度:600mm(不含可选风道)

重量:260kg

压缩空气:5 - 7bar，空气质量符合ISO8573-1:2010 3级或以上

Maskless lithography offers a convenient way to create nanopatterns without the use of slow and expensive photomasks. This is particularly useful for research and rapid prototyping purposes. The POLOS^® Beam is a budget compact solution that brings these benefits to your desktop without compromising on performance.

The POLOS^® Beam Engine is a quick-swappable component that uses a UV laser beam to create a precise spot that can expose any pattern on a photoresist. To expose large wafers, precision steppers move the wafer, and multiple exposures are stitched together. The POLOS^® Beam Engine can produce features smaller than (CD) 0.8 μm on a 5" wafer when equipped with a 405nm Engine and 20x objective.

Compact

Full-featured maskless lithography, smaller than a desktop computer.

Powerful

Sub-micron resolution while exposing a write field in less than two seconds.

Ultrafast Autofocus

Piezo-actuators reach focus in less than a second when combined with our close- looped focus optics.

No-fuss Multilayer

Semi-automatic alignment allows multilayer alignment to be completed within minutes.

The included software makes quick work of any patterning job; just load, align and expose. Navigation is similar to CNC systems.

POLOS 激光直写光刻机Maskless lithography信息由南通宏腾微电子技术有限公司为您提供，如您想了解更多关于POLOS 激光直写光刻机Maskless lithography报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。除供应POLOS 激光直写光刻机Maskless lithography外，南通宏腾微电子技术有限公司还可为您提供其他等产品，公司有专业的客户服务团队，是您值得信赖的合作伙伴。

售后服务

产品货期： 200天
培训服务：安装调试现场免费培训

型号：	POLOS Beam
产地：	德国
品牌：	POLOS
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