POU纯化器气体纯化器氮气纯化器氢气纯化器氧气纯化器氩气纯化器氦气纯化器_价格

产品详情

在半导体工业生产中,几乎各道工序都用到超纯气体,按其用途可分为保护气体,反应气体以及运载气体。从气体种类又分为超纯大宗气和电子特气。超高纯大宗气体包括氮气，氢气，氧气，氩气，氦气和压缩空气等。主要用于半导体及光伏太阳能生产中作为载气、稀释气、冷却气、吹扫气、氧化气、燃烧气等。电子特气作为特种气体的一种，在电子产品制程中广泛应用于刻蚀、清洗、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED及光伏等半导体材料的“粮食”和“源”。

极微量的杂质就可能破坏半导体产品的结构，影响产品的强度、镀膜厚度、导电性、表面完好性及效率，同时也会对机台本身产生影响。

目前气体公司供应气体方式暂时无法提供更高纯度气体，普通气体纯度：4N~5N（99.99%~99.999%），需通过纯化到7N-9N（99.99999%~99.9999999%）才可以满足半导体精密制造、光伏器件需求环境。而这，是需要搭配一些纯化手段才能达到的结果。

华邦化学气体纯化器通过化学吸附和物理吸附相结合的方式，可将工艺气体中的杂质脱除深度至0.1ppb以下，配备316L EP级吸附管，洁净施工，并且内置0.003微米316L颗粒过滤器；配备高质量元器件、洁净装配、出场前测试；严格的质量管控、周到的质量跟踪服务。

华邦化学气体纯化器的产品分类：

01 管式POU纯化器：

最常见，应用范围最广的POU纯化器，多为外延、氧化、扩散、CVD、MOCVD等半导体机台工艺设备提供超纯气体；

02 框架式POU纯化器：

主要用于大流量，不连续的使用场景。多用于大型纯化设备进厂前的临时使用；

K9图.png

03 台式POU纯化器：

多用于实验室，小流量的Ar和He气体脱除N2和CH4杂质；

图片.png

04 高压POU纯化器：

主要用于气体需要较高工作压力下的场景；

华邦化学气体纯化器标准型号流量范围从2slpm到2000slpm可选，可配各式接口，同时提供定制服务，满足各种环境下的产品使用方式。

华邦化学拥有西安、长沙两个大型纯化器长期运行测试基地，开发的每个系列的设备，均经过超过24,000小时测试。

华邦化学气体纯化器吸附剂寿命测试方法：

每批吸附剂均通过1000次短周期再生-吸附寿命试验，性能无衰减，证明可使用20年。

华邦化学气体纯化器催化剂寿命测试方法：

每批通过100小时，1.5倍超高温运行性能衰减性能测试，确保20年运行性能不减。

华邦化学掌握HPC气体纯化器核心技术，自行开发生产的催化剂、吸附剂，並不断开发更高性能的催化剂。公司共申请知识产权40余项、授权发明专利2项、实用新型专利16项，形成较为完善的自主知识产权体系。

管式纯化器焊接车间-5.jpg

我们有千万级的常备库存，能保证国内范围最快到货，持续稳定供应过硬品质产品，如有兴趣可随时联系我们。

POU纯化器气体纯化器氮气纯化器氢气纯化器氧气纯化器氩气纯化器氦气纯化器信息由大连华邦化学有限公司为您提供，如您想了解更多关于POU纯化器气体纯化器氮气纯化器氢气纯化器氧气纯化器氩气纯化器氦气纯化器报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。除供应POU纯化器气体纯化器氮气纯化器氢气纯化器氧气纯化器氩气纯化器氦气纯化器外，大连华邦化学有限公司还可为您提供其他等产品，公司有专业的客户服务团队，是您值得信赖的合作伙伴。

行业应用

半导体、光电行业微纳加工的超纯气体解决方案

半导体 2024/09/29

供货周期：	现货
品牌：	华邦化学
货号：	Q9