欧波同
《扫描电镜维护保养简述》主要介绍如何进行扫描电镜的维护保养,从校准性维护、耗材或易损件更换、计划和预防性维护、安全操作等。校准性维护涉及放大倍率校准、分辨率验证、样品台校准、束流强度校准、EDS能谱峰位校准等。
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