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  • 彭开武-- 国家纳米科学中心
  • 仪器信息网 2019/12/02 点击 254
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彭开武

高级工程师

国家纳米科学中心

【个人简介】

彭开武,男,高级工程师。1999年开始在中国科学院电工研究所微纳加工研究室从事基于电子显微镜(含扫描电镜与透射电镜)的电子束曝光机的研制工作, 先后参与四项中国科学院知识创新/仪器改造项目,其中2003年以访问学者身份在英国卢瑟福实验室中央微结构中心从事微纳米器件工艺研究。2007年起至今在国家纳米科学中心纳米检测技术室从事聚焦离子束技术方面的工作。主要研究领域为微纳加工与表征,包括:三束(离子束、电子束、光束)加工技术及相关的设备研制、电子显微镜表征技术等。