刘文 工程师

中国科学技术大学微纳研究与制造中心

刘文,男,工学硕士,毕业于中国科学院研究生院,毕业后就职于上海华虹宏力半导体制造有限公司,负责光刻工艺开发和维护,熟悉半导体加工各个工艺段工艺,掌握多种图形化加工手段。2013年进入了中国科学技术大学微纳研究与制造中心,先后负责和参与了光刻、镀膜、刻蚀和表征等工艺设备的调研采购、安装、调试和验收工作,作为光刻图像化设备组负责人,负责电子束光刻、步进投影式光刻机、无掩膜激光直写、接触式光刻机、纳米压印等多种图形化加工设备,具有丰富的微纳加工经验。

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