博士毕业于复旦大学物理系凝聚态物理专业。博士期间从事复杂量子材料的光电子能谱研究,拥有丰富的电子能谱系统操作、搭建和光电子能谱数据处理经验,并多次赴美国、日本、德国、意大利等同步辐射中心进行交流合作,在Nature Physics、Physical Review X等国际一流杂志发表论文10余篇。毕业后加入赛默飞世尔科技(中国)有限公司,现担任应用经理一职,负责XPS、EDS、EM等技术的行业性应用开发。
X射线光电子能谱(XPS) 技术是一种重要的表面分析手段。该技术基于光电效应,采用X射线激发被测样品表面纳米尺度内的原子发射光电子,通过系统探测到所发射光电子的动能等信息,进而实现样品表面的元素种类及化合态的定性和定量的分析。在本次报告中,我们将重点介绍XPS和角分辨XPS技术,通过这些技术我们可以精准高效的表征超薄薄膜和半导体器件材料。分享的案例包括SiO2类栅极氧化层材料、氮氧化物高介电超薄薄膜的角分辨无损深度检测,以及有机半导体器件材料的团簇无损深度剖析等。
每邀请1名好友报名,可获得积分
XPS在半导体材料及超薄薄膜行业的应用