X射线光电子能谱仪技术特点及其在工业方面的应用

XPS是一种基于光电效应，采用X射线激发被测样品表面nm尺度内的原子发射光电子，通过系统探测到所发射光电子的动能等信息，进而分析样品表面的元素种类及化合态的定性和定量分析的一种技术。XPS技术目前已有超过40年的应用历史。目前广泛应用于科研和工业测试领域，包括化工、催化、薄膜、半导体、钢铁、纳米材料以及微器件等. 赛默飞世尔表面分析部门的前身----英国VG科技公司是一家有着超过40年的表面分析和超高真空仪器研发和制造的公司，在定型光电子能谱仪的间断技术研发和产品更新等方面走在市场的前列。 本讲座介绍ESCALab 250Xi 性能特点及其在材料/理化测试/催化剂等方面的应用。