据报道,MEMS(微机电系统)设备市场于2012年达到500万美元,而MEMS和传感器市场在2016年将达到196亿美元。传统上稳定使用的无线电电路,机械式陀螺仪到模拟传感器,都有可能被成本更低, 体积更小,重量更轻而性能更优越和可靠的MEMS器件所取代。这其中,封装和测试成本的比例可能高达60%。
本讲座将着重介绍布鲁克三维光学显微镜在动态MEMS器件表面测量中的应用。从设计到中试,批量生产直至后期可靠性测试等不同阶段,布鲁克三维光学显微镜在整个制备过程中始终扮演重要角色。经特殊设计的频闪光源可以实现在MEMS器件以不同频率运动时对其表面进行实时测量,从而表征整个运动周期内该器件表面的面内或面外的运动状态。讲座将通过几个具有代表性的实测器件的动态测量案例,讨论测量的要点和动态MEMS器件工作状态的真实表征。