三维光学显微镜在动态MEMS表面测量中的应用——2013年布鲁克光学显微镜技术研讨会第一讲

据报道，MEMS（微机电系统）设备市场于2012年达到500万美元，而MEMS和传感器市场在2016年将达到196亿美元。传统上稳定使用的无线电电路，机械式陀螺仪到模拟传感器，都有可能被成本更低， 体积更小，重量更轻而性能更优越和可靠的MEMS器件所取代。这其中，封装和测试成本的比例可能高达60%。

本讲座将着重介绍布鲁克三维光学显微镜在动态MEMS器件表面测量中的应用。从设计到中试，批量生产直至后期可靠性测试等不同阶段，布鲁克三维光学显微镜在整个制备过程中始终扮演重要角色。经特殊设计的频闪光源可以实现在MEMS器件以不同频率运动时对其表面进行实时测量，从而表征整个运动周期内该器件表面的面内或面外的运动状态。讲座将通过几个具有代表性的实测器件的动态测量案例，讨论测量的要点和动态MEMS器件工作状态的真实表征。