布鲁克三维光学显微镜的平台最新进展与应用实例分析——2013年布鲁克光学显微镜技术研讨会第二讲

随着装备业向更精密加工纵深发展，直接对较大型零部件表面状况进行检测的需求日益增加，如何实现灵活简便而精确的三维轮廓测试成为当今精密工程测量的迫切需求。

此外，光学显微镜的横向分辨率始终受到光学衍射极限的限制，某些情况下，如果在同一显微镜平台上能同时实现原子力显微镜测试，将大大方便的实现使用者对高横向分辨率的需要。

2013年布鲁克光学显微镜技术研讨会第二讲，由黄鹤博士为大家着重介绍布鲁克三维光学显微镜的平台最新进展与应用实例分析。讲座将通过在重承载大样品时的测量案例，讨论超长工作距离干涉物镜的测量优势，±45度前后倾角测量的灵活性等特点；也将介绍，如何在同一显微镜平台上，原位实现从光学显微镜毫米级视场到原子力显微镜微米纳米级面积内精细横向分辨率的测量。

三维光学显微镜测试原理

布鲁克三维光学显微镜技术优势

布鲁克三维光学显微镜平台一览与最新进展

NPFlex：重承载下对大样品的测试案例

NanoLens：将原子力显微镜（AFM）与光学测量结合的测试案例