大尺寸台阶仪和三维光学显微镜在半导体和LED表面测量中的应用: 2014年布鲁克光学显微镜技术研讨会第二讲

大尺寸台阶仪和三维光学显微镜在半导体和LED表面测量中的应用

在半导体和显示器面板制造行业, 质量保证/质量控制（QA / QC）等产品监控过程成为生产过程中最为重要的部分之一。这就需要更小，更快，机台更紧凑和功能更完善的测试仪器用来完成质量监控过程中的各项检测任务。这就给检测设备制造商提出更高的要求，不断推出更精确和更高测量效率的产品，以满足顾客的需求和他们对投资回报率的要求。
布鲁克近期推出全新的探针式轮廓仪测试系统-DEKTAKXTL，以满足这些日益增长的专业测试 需求。 DEKTAK XTL的主要应用包括：测量表面粗糙度，薄膜厚度和台阶高度及尺寸，晶片曲面和压力，面板特征尺寸等晶片和面板生产监控中的关键指标，保证各类产品高质高量地完成生产。

• 探针式轮廓仪测试原理
• 布鲁克新型大尺寸探针式轮廓仪技术优势
• 布鲁克新型大尺寸探针式轮廓仪Dektak XTL在半导体和LED表面测量中的应用
• 具有代表性的半导体和LED表面测量案例