演讲嘉宾(按报告时间排序)

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  杨妍(中国科学院微电子研究所 研究员)
  杨妍，中国科学院微电子研究所研究员，中科院人才引进计划及择优支持。2015年博士毕业于新加坡南洋理工大学和IME A*STAR，曾任美国Inphi公司硅光实验室主任研发工程师。从事硅光器件与集成芯片研究，申请/授权国际国内发明专利40余项，发表Nature Photonics等学术期刊论文及光通信和光电封装顶会论文等50篇。现主持国家重点研发计划、国家自然科学基金等多项科研项目。

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  张迪(天津语瓶仪器技术有限公司 应用工程师)
  语瓶应用工程师，拥有多项洗瓶机专利。多年来一直致力于各行业实验室标准化清洗方案的应用、器皿清洁验证方法开发与推广工作，拥有丰富的理论与实践经验。
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  王海银( 徕卡显微系统(上海)贸易有限公司 工业显微镜应用工程师)
  本硕毕业于英国帝国理工学院，纳米材料硕士，现为徕卡显微系统工业显微镜应用工程师，负责工业显微镜相关的技术支持工作。熟悉半导体光刻技术，在微电子、材料科学及其他先进制造领域有丰富的应用经验。
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  李春华(上海市计量测试技术研究院 集成电路产业中心主任/高工)
  华东理工大学材料科学与工程专业毕业，研究生硕士，九三学社社员。2009年3月参加工作，高级工程师，现任上海市计量测试技术研究院集成电路产业计量检测中心主任兼上海市电子化学品计量检测技术服务平台技术主管。担任全国化学标准化技术委员会化学试剂分会委员，至今已参与起草国家标准10余项。从事痕量分析14年，在痕量和超痕量杂质检测方面富有经验，熟悉电子化学品和药品中无机元素的方法学开发和验证工作。所属实验室在湿电子化学品、电子级多晶硅、硅片、光刻胶、抛光液、金属靶材和电子级气体领域已通过CNAS和CMA认证。

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  付玉(德国耶拿分析仪器有限公司 应用工程师)
  硕士研究生，德国耶拿应用工程师，多年从事原子光谱仪器的应用研究、行业解决方案等相关工作。主要负责ICPMS、ICPOES等产品的前沿行业应用与方法开发，在半导体、新能源、食品等诸多领域积累了丰富的经验。

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  张君峰(苏州赛米肯分析技术有限公司 实验室经理)
  毕业于上海师范大学 化学工程与工艺专业。毕业后就进入化学实验室分析行业，行业经验超过12年。先后服务于国内化学品原料生产企业，外资电子级化学品制造企业，检测行业电子材料相关部门，先后服务众多半导体客户，对半导体相关材料分析有完整的解决方案。

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  郭春生(北京工业大学 副教授)
  郭春生，北京工业大学信息学部，博士，副教授/硕导。IEEE Trans. Power Electronics, 物理学报等学术刊物审稿人。致力于半导体器件芯片温度无损测量、失效分析与可靠性评价方法的研究。主持国家自然科学基金、863、北京市自然科学基金、军方共性课题等多项课题，在相关研究方向发表SCI /EI检索论文五十余篇，授权国家发明专利二十余项。作为主要人员研制的半导体器件热阻构成检测仪器在华为、中电集团、勤上光电等20余家单位投入使用，并于2019年和2021年获中国电子学会技术发明二等奖及北京市科学技术奖-技术发明二等奖各1项。

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  代建勋(大连理工大学 助理教授)
  代建勋，大连理工大学，光电工程与仪器科学学院助理教授，硕士生导师。本硕博就读于吉林大学电子科学与工程学院。在ACS Appl. Mater. Interfaces，Sens. Actuators, B，IEEE Electron Device Lett.，中国电机工程学报等电子器件领域著名期刊上发表论文二十余篇，2020年度获得电子教学学会优秀博士学位论文提名。主要研究方向为GaN功率器件制造和新型传感技术。主持或参加国家自然科学基金项目、中国博士后科学基金项目、省部级项目、科技部科技创新2030-重大专项等。

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  卢坤俊(蔚海光学仪器（上海）有限公司 应用主管)
  现任海洋光学亚洲公司应用工程师主管，南京农业大学生物工程本科专业，应用化学硕士学位。主要负责光谱仪相关产品的技术支持与光谱解决方案的应用开发工作，有着10年以上的环境、智能农业、化工、消费电子、半导体及生命科学领域的光谱应用背景。

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  刘俊伯(中国科学院光电技术研究所 副研究员)
  刘俊伯，博士，中科院光电技术研究所微电子装备总体实验室，副研究员，硕士生导师，主要从事投影光刻装备相关核心技术研究。2017 年入选西部之光人才计划，2020 年入选中国科学院青年创新促进会，获创新基金计划资助。 承担或参与国家重大科研仪器装备项目、国家重点研发计划、国家自然科学基金、四川省应用基础研究、四川省融合类研究项目等项目，重点开展光刻机投影光刻曝光系统、综合像质原位测试、全链路逆优化仿真模型等核心技术研究，在OPT EXPRESS、OPT LASER ENG 等SCI 期刊上发表论文20余篇，获发明专利授20余项。 组织团队成功研制UVSTEP系列化光刻装备，在军民领域实现多台套上线应用，获首届中国光学工程学会“金燧奖”，产生较好的社会、经济效益。

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  陈春章(鹏城实验室 研究员)
  陈春章博士，现为鹏城实验室研究员，中国科学院大学和浙江大学兼职/兼任教授。担任《集成电路产业全书》英文版(Handbooks of IC Industry, Springer, 待出版, 2023) 编委会副主编；《集成电路系列丛书》编委会副秘书长。陈春章博士曾在美国楷登(Cadence)电子公司16年(1997-2013), 任职该公司技术总监、工程师总监、资深经理、EDA讲师等职。先后参与或支持过数10家全球大客户的 IC 产品技术与设计流程开发，并带领团队在北京参与建立和运行 "Cadence 大学"。陈春章于2008年出版《数字集成电路物理设计》，2015年编译《混合信号设计方法学指导》，2018年任《集成电路产业全书》编委会副秘书长等，近年来发表集成电路技术研究文章10多篇。他1995年加入美国泰鼎(Trident)公司两年，并在无锡华大国奇科技公司(2014-2018)担任市场与销售副总裁等。 早年曾担任中国科学院助理研究员、在美国数家学术机构(1987-1995：长岛BNL, 旧金山UCSF, 纽约市Columbia大学)从事辐射物理学与辐射生物学等基础科学研究工作，曾发表科学研究论文30多篇。他毕业于中国科学技术大学近代物理系，英国圣安德鲁斯大学硕士和物理学博士。

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  张乐银(华东光电集成器件研究所 所级关键技能带头人 所级关键技能带头人)
  张乐银，214所关键技能带头，蚌埠市张乐银技能大师工作室负责人，获得蚌埠市第四届“珠城工匠”称号及蚌埠市“五一劳动奖章”，多次获得所级及以上先进个人。主要从事MEMS/MOEMS器件，集成电路组封装以及先进封装工艺领域，突破了高密度叠层组装工艺与倒装焊接关键技术。先后获得省部级科技成果2项，电子院级科技成果6项，授权发明专利7项。

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  刘书利(中科芯集成电路有限公司 微系统制造研发部副经理)
  刘书利，博士研究生，2019年博士毕业于南京邮电大学电子科学与技术专业，同年加入中科芯集成电路有限公司，主要从事先进封装设计及工艺研发工作。主持或参与科技部重大专项、微电子预研、型谱、国家自然科学基金等各类项目10余项，发表科技论文7篇，授权专利10余项。

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  陈磊(北京莱伯泰科仪器股份有限公司 ICP-MS产品经理)
  北京莱伯泰科仪器股份有限公司ICP-MS产品经理，具有2年Fab厂一线工作经验，在半导体沾污检测方面具有丰富的理论和实践经验，目前主要负责莱伯泰科ICP-MS的技术支持工作。
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  胡松(中国科学院光电技术研究所 研究室主任/研究员)
  胡松，博士，研究员，四川省有突出贡献优秀专家，四川省学术技术带头人后备人选，博士导师，2000—2016年光电技术研究所微电子装备及生物芯片仪器研究室主任，国家专家库专家、国家02专项调研组和指南编写组专家、集成电路测试仪器与装备产业技术创新联盟专家咨询委专家，四川省重大仪器设备专家组专家，全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会副主任，全国光电测量标委会委员，中国仪器仪表学会精密机械分会理事,中国电子工业专用设备行业协会理事。 一直从事微细光学技术与专用设备研制工作。先后承担并完成三十多项国家科技攻关、中科院重大项目、国家“863”项目、国家重大科技专项、国家重大仪器装备专项、国家自然科学基金、四川省科技攻关等。获国家科技进步三等奖两项，中科院科技进步二等奖、三等奖各一项，四川省科技进步二等奖一项、三等奖二项。近年来以副总师完成国家重大仪器装备专项项目—超分辨光刻装置研制、以项目技术首席和课题负责人完成国家02专项课题—EUV极紫外光刻真空及机械系统、以项目副总师完成国家02专项项目—NA0.75ArF曝光光学系统α样机研制。主持研发单面和双面深度曝光机、无掩模光刻机、投影光刻机、纳米压印光刻机、精密工件台、生物芯片仪器等，销售超1000台（出口50多台），为我国微细加工行业的技术进步发挥了较大作用，结束芯片设备与仪器完全依赖进口且受制于人的历史。发表科技论文150余篇，作为副主编出版专著一本，授权专利50余项，指导并毕业博士生20余名、硕士生10余名。2015年被评为四川省劳动模范，或国务院政府津贴，多次被评为中科院院、分院及研究所先进工作者、优秀导师和标兵。

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  王晓东(中国科学院半导体研究所 研究员)
  王晓东，男，博士，研究员。2001年毕业于中科院半导体所获博士学位，先后在日本、瑞典做过博士后研究。现任职于中科院半导体所集成技术工程研究中心。目前研究领域有高效太阳电池、纳米热电器件、半导体微纳米结构器件等。多年来还从事大型半导体工艺平台建设、管理与运行工作。主持和参与了多项科技部、基金委、中科院等重要科研项目。发表和合作发表论文百余篇，多个SCI期刊活跃审稿人，出书2本（Springer出版），培养多名博士、硕士。

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  张忠山(中国科学院物理研究所 副主任工程师)
  2016于苏州大学获博士学位，2016年-2018年中国科学院声学研究所博士后，现任中国科学院物理研究所副主任工程师，负责综合极端条件实验装置微纳加工平台运行 。发表文章14篇，授权专利15项。2018年入选中国科学院物理研究所“引进国外杰出人才”计划中的“关键技术人才”。正在主持国家自然科学基金项目一项，负责科学院仪器设备功能开发技术创新项目一项；除此之外，参与多项国家重大项目。

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