ICP-MS在集成电路中的应用

直播时间 09月25日 14:00 - 09月25日 15:10

大会介绍

集成电路制造对纯度要求极高，需高灵敏度和高精度的元素分析以确保质量控制。ICP-MS技术（电感耦合等离子体质谱）能检测和分析微量金属杂质，识别和量化影响器件性能的污染物，从而提高产品可靠性和性能。本次活动将详细介绍ICP-MS在集成电路中的应用。

收起

09月25日 ICP-MS在集成电路中的应用
14:00 14:40	ICP-MS在集成电路中的应用李春华(上海市计量测试技术研究院集成电路产业中心主任/高工)
14:40 14:55	ICP-MS 疑难液体的处理杨银芬(Eppendorf 中国有限公司市场经理)
14:55 15:10	答疑 & 抽奖主持人

李春华(上海市计量测试技术研究院集成电路产业中心主任/高工)

华东理工大学材料科学与工程专业毕业，九三学社社员。2009年3月参加工作，高级工程师，现任上海市计量测试技术研究院集成电路产业计量检测中心主任兼上海市电子化学品计量检测技术服务平台技术主管。担任全国化学标准化技术委员会化学试剂分会委员，至今已参与起草国家标准10余项。从事痕量分析14年，在痕量和超痕量杂质检测方面富有经验，熟悉电子化学品和药品中无机元素的方法学开发和验证工作。所属实验室在湿电子化学品、电子级多晶硅、硅片、光刻胶、抛光液、金属靶材和电子级气体领域已通过CNAS和CMA认证。
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杨银芬(Eppendorf 中国有限公司市场经理)

杨银芬女士，Eppendorf市场经理，先后服务于多家制药和生命科学企业，拥有质量控制和十余年市场拓展的行业经验。2021年加入Eppendorf 公司，专注于液体处理解决方案和实验室耗材的市场应用及市场推广工作。
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