半导体新材料表征及制程监控技术与应用

直播时间 09月03日 14:00 - 09月03日 17:00

大会介绍

半导体产业在国民经济发展有着重要的作用，是当下国家发展的重点领域。随着半导体制程向着更先进、更精细化的方向快速发展，相关新材料开发及表征技术、制程监控的应用也变得越来越关键。

HORIBA集团，作为全球检测及分析技术领先供应商，可为半导体产业提供多种研究、分析及检测控制技术。在材料表征技术方面，可为新材料开发及QC检测提供多种分析技术，重点包括：膜厚、晶型、应力、缺陷、杂质、元素含量以及器件结温表征等。在制程监控环节， HORIBA的精密监测及控制系统在半导体产业也有着几十年的成熟技术与解决方案，如：质量流量控制、化学药液浓度监测、终点检测及光掩模颗粒检测等技术，此外，还可提供水质及气体等环境成分检测方案。

本次讲座我们将就HORIBA在材料表征及制程监控两大方面，由7位专家及资深学者为您进行分享。来自HORIBA集团各事业部的4位资深技术专家将为您带来HORIBA在半导体领域的最新技术和解决方案，让您了解当下新技术的发展与应用。同时，我们还特别邀请到天津大学徐宗伟副教授、中国计量大学孟彦龙老师、汕头大学王江涌教授为您分享热门光谱分析技术——拉曼，辉光，椭偏，在半导体材料表征中的前沿应用和最新科研成果。

欢迎各位报名免费参加。

主办单位：HORIBA&仪器信息网

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会议日程

09月03日半导体新材料表征及制程监控技术与应用
14:00 14:15	看回放 HORIBA 半导体综合解决方案熊洪武(HORIBA科学仪器事业部工业大客户经理)
14:15 14:50	看回放共聚焦拉曼和PL在第三代半导体材料中的应用徐宗伟(天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室副教授)
14:50 15:25	看回放椭圆偏振光谱技术在光电及光学器件研究中的应用孟彦龙(中国计量大学光学与电子科技学院讲师)
15:25 16:00	看回放深度剖析技术在纳米多层膜定量表征中的应用王江涌(汕头大学物理系教授)
16:00 16:20	看回放 PP-TOFMS:用于半导体应用的深度剖析工具（英文） Agnès Tempez(HORIBA法国应用专家)
16:20 16:40	看回放半导体制造·开发过程中与“测量”相关的HORIBA解决方案何政良(HORIBA半导体事业部中国区销售总监)
16:40 17:00	看回放半导体洁净间的AMC检测吕岩(HORIBA过程环境事业部市场经理)

演讲嘉宾(按报告时间排序)

熊洪武(HORIBA科学仪器事业部工业大客户经理)

现任HORIBA Scientific工业大客户经理。进入分析仪器行业10年，负责HORIBA光栅光谱仪技术支持多年，对光谱测量系统选择有丰富的经验，具有光致发光光谱、拉曼光谱和荧光光谱等相关技术的应用经验。现主要负责HORIBA科学仪器在半导体等工业领域的业务拓展。
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徐宗伟(天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室副教授)

徐宗伟，天津大学英才副教授，博导，研究领域:宽禁带半导体器件、超快能量束（离子、fs激光）加工、拉曼及荧光光谱表征、微纳加工机理、微刀具制备及纳米切削技术。中国电子显微镜学会聚焦离子束专业委员会委员。
孟彦龙(中国计量大学光学与电子科技学院讲师)

博士毕业于吉林大学电子工程学院，清华大学电子工程系博士后，中国科学院微电子所助理研究员，现为中国计量大学讲师。作为骨干参与基于顶发射有机发光器件的QVGA硅基微显示器件研制，基于微晶硅薄膜的TFT器件研制以及基于PERC结构的高效晶硅太阳能电池研究等项目。目前主要从事基于微纳结构的光学特性及其在光电器件中相关应用的研究。
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王江涌(汕头大学物理系教授)

王江涌，博士，教授，1984年武汉大学理论物理专业学士；1989年四川大学原子与分子物理专业硕士；1997年南非自由州大学表面物理专业博士；1998-2001年美国堪萨斯州立大学物理系研究助理；2001-2009年德国马普金属研究所高级研究员；2009年起任汕头大学物理系教授。从事表面分析工作近三十年，在薄膜相变及深度剖析定量分析领域做出了诸多创新性工作。发表英文专著2部，论文150余篇（SCI 110余篇）。现任广东省分析测试协会表面分析专业委员会副主任委员、中国机械工程学会表面工程分会常务委员；《功能材料》、《材料科学研究与应用》与《表面技术》等期刊编委、评委。
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Agnès Tempez(HORIBA法国应用专家)

Agnès Tempez is application scientist at HORIBA France,working in the Nanoscopy group, connected to the Demonstration Centre at the HORIBA Laboratory in Palaiseau. She is responsible for providing applications support to key customers involved in nanoscopy and TOF-related research projects. Prior to joining HORIBA in 2006 as project manager, she worked as a research scientist at lonwerks, Inc. in Houston,Texas, to develop time-of-flight mass spectrometry instrumentation for materials characterization and MALDI/ion mobility coupling for complex biological samples. Agnès holds a PhD in analytical chemistry from the University of Houston, Texas. She is the author of nine patents, one book chapter and more than 75 articles in peer - reviewed journals.
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何政良(HORIBA半导体事业部中国区销售总监)

何政良，男，HORIBA半导体事业部中国区销售总监。资深技术顾问，在半导体、光纤、MLCC、太阳能、LED等相关领域为客户提供尖端技术支持及工艺解决方案；为HORIBA半导体事业部的中国发展及新市场开拓做出众多重要贡献。中国电子专用设备工业协会会员，中国电子科技集团公司第十三研究所会员。
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吕岩(HORIBA过程环境事业部市场经理)

吕岩，HORIBA 过程环境事业部市场经理。2005年加入日本著名分析仪器厂家HORIBA公司，在其过程与环境事业部任职15年以上，先后任职售后经理和市场及技术部经理，曾环保部组织的SO2非分光红外法、CO非分光红外法等国家标准的起草和验证工作，曾参与《固定污染源汞检测设备与技术》等图书以及多项省级环境监测标准（如：《固定污染源废气氮氧化物的测定化学发光法山东省地方标准》）的编写工作，在气体、水质检测等仪器分析领域积累了丰富的经验。
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