第三届电镜网络会议（iCEM 2017）特邀报告

X射线能谱技术研究

曾毅研究员

中国科学院上海硅酸盐研究所

　　报告摘要：

　　X射线能谱仪（EDS）作为一种在扫描电镜和透射电镜中广泛应用的微区元素定性、定量分析工具，已经成为材料科研和生产中必可或缺的技术手段之一。尽管EDS已经广泛应用，而且其工作原理也相对简单，但很多人仅仅把其作为元素定性或者半定量分析的简单工具。在本次网络课堂中，将主要针对人们在实际应用中存在的一些共性问题进行讲述。例如：

　　1、 EDS到底是半定量分析手段还是定量分析手段？同化学分析相比，它的结果可靠性到底如何？为什么有人会认为EDS结果不可靠，原因是什么？什么情况下EDS结果是可靠的？

　　2、 能谱谱峰的背底是什么？它对定量结果和检出限的影响如何？为什么在谱峰的低能端背底更强？

　　3、 为什么能谱选择时加速电压特别重要？过压比为什么选择2-3是最佳的？

　　4、 为什么能谱的能量分辨率最好也只有121eV（对于MnKα而言）？制约能谱能量分辨率的主要因素是什么？

　　5、 以往的锂漂移硅探测器为什么需要液氮？而目前常用的硅漂移探测器（SDD）不需要液氮？SDD探测器与以往的探测器相比有哪些优缺点？

　　6、 EDS定量分析的空间分辨率由什么决定？

　　报告人简介：

　　曾毅，中国科学院上海硅酸盐所分析测试中心副主任，研究员，博士生导师。主要从事材料显微结构-性能-工艺关系研究，实验室拥有FEI Verios, FEI Magellan400, Hitachi SU8220, Hitachi SU4800, JEOL 8100以及JEOL 6700等多台扫描电镜。

　　近年来作为项目负责人承担了863、科技部国际合作专项、中科院重点部署项目、中科院国际合作重点项目、上海市民口科技支撑项目等多项材料表征技术相关研究项目，在国内外学术刊物发表显微结构表征技术论文近100篇。出版《低电压扫描电镜应用技术研究》和《扫描电镜和电子探针的基础及应用》学术专著两部，起草扫描电镜相关国家标准5个。是中国电镜学会理事，中国电镜学会扫描电镜专业委员会副主任委员。

　　报告时间：2017年6月22日上午

　　立即免费报名：http://www.instrument.com.cn/webinar/meetings/iCEM2017/