[报告]飞秒激光与FIB的完美结合——大尺度、高精度加工与成像一站式解决方案
报告时间: 2020-06-18 10:30
第六届电子显微学网络会议（iCEM 2020）
2020年06月16日 09:00
王雪丽
卡尔蔡司(上海)管理有限公司
2016年毕业于重庆大学材料学院，至今已有8年FIB操作经验。博士期间主要研究方向为金属材料，在此期间作为FIB设备助管，面对校内外不同客户测试过大量不同种类样品。2017年初加入蔡司，主要负责FIB电镜操作，售前技术支持和培训，数次帮助客户解决棘手应用问题。
聚焦离子束（FIB）是广泛应用的微纳加工手段，但加工效率低限制了其应用的拓展。蔡司于2020年年初发布了飞秒激光-聚焦离子束加工平台Crossbeam Laser，使大尺寸高精度快速加工与原位高分辨成像成为可能，同时通过专利技术有效避免了高通量加工给电镜腔室带来的污染。通过今天的讲座，您将了解：
Crossbeam Laser系统的构成和操作流程
微纳加工和电子、半导体领域应用案例
结合蔡司光学显微镜、X射线显微镜，对应用进行拓展
卡尔蔡司(上海)管理有限公司
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