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[报告]新型多离子源双束电镜的在三维大尺寸微观表征中的应用

报告时间: 2021-06-22 09:30

第七届 电子显微学网络会议(iCEM 2021)

2021年06月22日 09:00

韩伟 赛默飞世尔科技

韩伟现任赛默飞世尔科技资深电镜产品专家,2010加入FEI(后被赛默飞收购)担任和资深应用工程师。2004-2010任电镜产品经理。1991-1998年在北京工业大学材料学院攻读并取得材料学硕士学位,于2004年在德国劳斯塔尔工业大学获取物理学博士学位。曾从事金属材料、高温超导材料、催化反应及传感器、电子显微镜技术方面开发及应用研究,发表过10多篇论文,英文专著一部。

聚焦离子束(FIB)的广泛应用与纳米图形、透射样品制备、三维成像和分析。然而传统的Ga+离子本身也存在一些局限性,比如加工尺寸小,有些样品易于受到Ga的污染。这里将介绍新型离子束的一些应用发展比如Xe,O,Ar,N离子。这些新型离子源为应对更大的加工效率和消除对样品的污染提供全新方法。可以针对材料的种类选择最优化的离子种类。

赛默飞世尔科技电子显微镜

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