聚焦离子束扫描电镜（FIB-SEM）具有强大的加工和成像功能，广泛应用于微纳加工领域。蔡司于2020年初发布了飞秒激光-聚焦离子束加工平台FIB3.0，在聚焦离子束的基础上增加了飞秒激光用于加工，打破了FIB在加工效率和加工尺寸方面的限制，使得大尺寸高精度快速加工成为可能。同时，结合蔡司光学显微镜、X射线显微镜等，可实现FIB3.0在更多领域的拓展和联用。