[报告]TESCAN双束电镜的最新技术进展
报告时间: 2022-07-27 10:30
第八届 电子显微学网络会议（iCEM 2022）
2022年07月26日 09:00
余妍
TESCAN CHINA
材料学硕士，毕业于华侨大学。2019年加入TESCAN CHINA应用部，负责扫描电镜售前DEMO和售后技术服务工作。2011年开始负责FIB-SEM 售前技术交流、制样演示和售后技术服务工作。熟悉SEM和FIB在材料科学、半导体科学等领域的应用。
TESCAN双束电镜结合了高精度的FIB镜筒和超高分辨的SEM镜筒，同时拥有最佳离子束铣削能力和超高分辨率成像能力。镓离子FIB可以对10nm以下支撑的半导体器件进行高效、定点制备TEM样品；氙气等离子体FIB可以轻松应对宽达1mm的大面积截面加工。
泰思肯（中国）有限公司
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