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[报告]布鲁克新一代能谱仪及其在半导体样品上的应用

报告时间: 2022-12-21 14:30

第三届半导体材料与器件研究与应用 网络会议

2022年12月20日 09:00

陈剑锋 布鲁克(北京)科技有限公司

2003年毕业于中科院长春应化所,主要研究方向是高分辨电子显微镜在高分子结晶中的应用,毕业后加入FEI,负责SEM/SDB的应用、培训以及市场等推广工作。2011年加入安捷伦公司负责SEM的市场和应用工作,2018年在赛默飞负责SEM的应用工作。2021年加入布鲁克,负责EDS,、EBSD、 Micro-XRF等产品的技术支持工作,对电子显微镜的相关应用具有多年的实操经验。

随着目前工业和自动化控制的发展,促使人们在半导体行业上不断突破到更微观的结构,能谱和电子显微镜因为在纳米尺度上的分析能力和直观的结果解读使之在半导体行业以及相应的材料,结构,性能的研究,测试,表征等方面的依赖性也变得越来越高,布鲁克纳米分析部门推出第七代能谱配合EBSD和同轴TKD等技术继续在分析测试,失效分析,产品工艺改进和品质控制等领域助力新能源行业的发展,本期报告我们将主要介绍布鲁克新一代能谱仪特点应用,让新老客户对我们的产品及应用有一个更好的了解和认知。

布鲁克电子显微纳米分析仪器部

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