[报告]国产无机质谱在半导体工艺检测中的应用和进展
报告时间: 2023-05-11 14:30
第二届半导体工艺及检测技术网络会议
2023年05月10日 09:30
陈磊
北京莱伯泰科仪器股份有限公司
北京莱伯泰科仪器股份有限公司ICP-MS产品经理，具有2年Fab厂一线工作经验，在半导体沾污检测方面具有丰富的理论和实践经验，目前主要负责莱伯泰科ICP-MS的技术支持工作。
在半导体的制造工艺中，半导体器件的不良率很大程度上由污染造成。据估计，污染造成了约 50% 的产量损失，所以控制污染物是半导体制造工艺中最关键的步骤之一。
莱伯泰科ICP-MS为国内首台通过半导体集成电路制造企业验证的国产ICP-MS，具有优异的检出限（DL）、背景等效浓度（BEC）以及长期稳定性，为半导体行业无机元素检测提供了卓越的性能，助力我国半导体产业发展及半导体检测设备国产化替代进程
北京莱伯泰科仪器股份有限公司
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