[报告]安捷伦半导体及高纯材料元素杂质检测解决方案
报告时间: 2024-08-09 10:35
大规模设备更新专题系列研讨会--安捷伦光谱和质谱技术助力材料科研分析
2024年08月09日 09:30
宋娟娥
安捷伦科技(中国)有限公司
2007 年加入安捷伦科技,15 年 ICP-MS 相关经验,主要专注于元素分析新技术及前沿应用领域的解决方案开发工作。曾发表多篇中英文文章,是《ATC 017 电感耦合等离子体质谱分析技术》一书的编委。
元素杂质控制是半导体材料和高纯金属材料影响关键质量属性最重要的因素,也是产业链规格控制最重要的环节。本次讲座内容基于安捷伦在半导体行业30多年经验的沉淀,分享在半导体产业链中各类材料(含硅材料,湿化学品,光刻胶,靶材等)及高纯金属(如合金、稀土材料等)的元素杂质检测需求及安捷伦的解决方案。
安捷伦科技(中国)有限公司
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