[报告]欧陆埃文思上海检测服务简介
报告时间: 2024-10-23 10:00
第五届半导体材料与器件分析检测新技术网络会议
2024年10月23日 09:30
张卫民
欧陆埃文思材料科技（上海）有限公司
本科就读于上海建材学院计算机及应用专业，1991年~1997年从事计算机软件、硬件开发的相关工作。自1997年至1999年转做半导体设备的技术支持（相关设备有日本不二越的Lapping、Polishing、日立建机C-Scan、东京精密的Grinding、富士通VLSI的PVD、Tracking tools）; 自1999年至2020年在丰德/东曹上海销售半导体和平板显示用的靶材。 2020年11月入职欧陆埃文思材料科技（上海）有限公司，担任市场销售经理工作。
欧陆埃文思上海提供4个方面的检测服务： SIMS （二次离子）、纯度/杂质检测、高级电子显微镜检测、ESD检测。 拥有9台SIMS设备、可以检测的基底材料覆盖Si-SiO-BPSG-SOI-SiGe-SiON、GaAs、GaN-SiC、C-Diamand-GaO等，纯度检测有洁净间的ICP-MS/MS、GDMS、ICPMS、ICP-OES、IGA、GCMS、LCMS等装备，检测元素浓度从重量百分比到0.05ppba的检测范围。 电子显微镜检测有FIB、ACSTEM、EDS、EELS、PCA、PED等；ACSTEM最小分辨达到63pm。
欧陆检测技术服务（上海）有限公司
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