[报告]二次离子质谱在SiC、GaN及GaAs等材料分析测试中的应用
报告时间: 2024-10-23 15:00
第五届半导体材料与器件分析检测新技术网络会议
2024年10月23日 09:30
姜自旺
欧陆埃文思材料科技（上海）有限公司
姜自旺，硕士，欧陆埃文思材料科技（上海）有限公司SIMS部门经理。2013-2016年就职于上海超导科技股份有限公司，期间积累了丰富的靶材制备、薄膜生长与薄膜材料性能表征等经验。2016年4月加入EAG上海实验室后一直从事SIMS技术的应用与研究工作。熟悉SIMS理论和不同类型的SIMS设备特点，擅长SIMS样品测试、数据处理、数据分析和数据解读，在第一代半导体材料Si、Ge，第二代半导体材料GaAs以及第三代半导体材料SiC、GaN的掺杂、注入、沾污和杂质的SIMS测试表征方面有着丰富的经验。
近年来随着半导体微电子与光电子器件的发展，高灵敏度和高分辨率（大约10Å）的二次离子质谱分析(SIMS)越来越被广泛重视。Eurofins EAG在SIMS的分析表征方面积累了40多年的经验，配置了50多台SIMS设备，可为客户提供全方位的SIMS分析测试服务。本报告将介绍SIMS相关的基本知识并将分享SIMS技术在SiC、GaN及GaAs等半导体材料测试中的一些应用案例。
欧陆检测技术服务（上海）有限公司
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