纳米力学量测应用于电子产业的研究与发展-德祥科技有限公司-仪器信息网3i讲堂

纳米力学量测应用于电子产业的研究与发展

纳米力学量测应用于电子产业的研究与发展魏伯任纳米加工与测量技术是今日许多快速进展领域的重要关键，也是科学界与工业界持续投注大量关注与研发的指标方向。随着应用面不断地朝不同领域扩展，容量更多、速度更快、尺寸却更小的需求持续向前推进；纳米科技在今日世界早已不再只是学术科研的课题，而是在日常生活中扮演着无处不在却又举足轻重角色。多方面的进展已经在学理的机理研究与工业生产应用同步进行，快速地缩短由原理技术的创新开发到大量生产的质量管控、良率监控的进程。不难想象在有限的空间里置放各种不同功能、不同材质、不同属性的组件，当中所存在的大量薄膜堆栈、接口特性、刚度匹配、破裂韧性、高温膨胀、残余应力等问题，挑战着加工制造与量测检验在高精度与高分辨率的水平。