原位器件电子显微学—孙立涛(东南大学)

随着电子信息产业的快速发展,核心元器件的特征加工尺寸已走向亚10nm。在10纳米以下,材料的表面效应对其性能的影响将显著增强。在这种情况下,材料还能否像块体材料那样稳定?如此小尺度下如何精准表征和检测这种材料的稳定性和可能的新物性?新型纳米材料是否可派上用场?本报告以亚10nm材料为研究对象,借助自主搭建的可实现原子分辨的原位-多场加载研究系统,探索亚10nm材料的表面效应的精准表征、调控与可能的器件应用,阐明全面开展10纳米以下材料应用基础研究方面的重要性及对下一代纳电子器件研究的重要意义和深远影响等。

818 2019-08-19
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