光电子能谱（XPS）定量分析综述
光电子能谱XPS，不仅可分析表面元素及其价态，而且可从谱峰强度得到表面化学组分。但XPS定量分析复杂。本报告综述了相关国标的具体流程和实操方法：样品处理、实验参数、强度测量、定量方法等。报告内容力求通俗易懂，结合实际，有助于理解、掌握、使用标准，规范定量测试流程，提高结果的一致性和准确性。
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2020-05-12
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