原位器件电子显微学
随着纳米技术与微电子产业的快速发展，核心材料与元器件的特征加工尺寸已走向5纳米。在未来更小尺度下，构建器件的材料是否依然那样稳定？如此小尺度下如何精准表征和检测这些材料和器件的稳定性及可能的新物性？新型纳米材料能否派上用场？可以实现哪些应用？所有这些都需要在原子尺度上首先精准的表征出材料的结构特征，之后探索精准的调控与实现原子尺度制造的方法，最后基于这些方法实现其可能的结构组装与相关器件应用等。
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2020-06-19
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