原子力显微镜与电子显微镜联用的应用
电子显微镜SEM和原子力显微镜AFM是微观领域常用的观察手段。SEM可以获得形貌，组分，元素，电位及晶体取向等信息，而AFM可以获得三维形貌，微观机械及电磁性能等信息。日立SEM和AFM采用样品台坐标共享，可以对样品同一位置采集SEM和AFM信息，获得更全面的微观信息。并实现两种显微手段相互印证，获得更真实和具有说服力的数据。 本讲座介绍了日立SEM-AFM联用在各个研究领域的最新应用数据。
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2020-09-25
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