电子束曝光及相关技术的研究--仪器信息网3i讲堂

所属会议:首届半导体材料与器件研究与应用网络会议(iCSMD 2020)

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电子束曝光及相关技术的研究

对电子束发展历史、基本原理和国内的发展现状进行了简单介绍。

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2020-10-21

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韩立

副所长/研究员

中国科学院电工研究所

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