XPS分析技术在空间和深度维度探测中的应用
XPS作为一种重要的表面分析技术,可以提供样品表面的组分和化学态信息,已经广泛应用于科学研究和高科技产业领域。但是新型材料/器件在科学研究和研发创新上的迅速发展,对XPS技术的微区检测和无损深度分析能力提出了迫切需求。本报告将介绍XPS分析技术在空间和深度两个探测维度的最新技术发展及其应用。
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