扫描电容显微镜在FA实验室的应用
扫描电容显微镜 (SCM) 通过在涂覆导电材料的尖端和样品之间施加电场来测量半导体表面电容的空间变化。通过确定离子注入表面中的二维掺杂浓度分布来表征半导体器件。可用于半导体器件的FA失效分析及半导体流程控制。本次 讲座讲述其在FA实验室的应用。
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2021-08-27
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