半导体洁净间的AMC检测--仪器信息网3i讲堂

半导体洁净间的AMC检测

半导体行业生产过程中，为了保证产品质量，防止腐蚀、结晶等问题的发生，生产所需的洁净间的空气质量必须达到一定的要求。为了保证洁净间内的空气质量达标，国际上同行做法是进行AMC在线监控，通常情况下通过对特定物质采用低检出限、高精度的连续检测方法，实时监控洁净间内的空气。