离子色谱技术在集成电路产业的应用--仪器信息网3i讲堂

离子色谱技术在集成电路产业的应用

离子色谱技术在集成电路产业主要应用于材料中痕量杂质的检测，特别是痕量阴离子的定量检测。报告中介绍离子色谱在集成电路6种材料的应用实例。分别为：超纯水中20ppt阴离子浓缩技术，有机试剂中1ppb阴离子检测，氢氟酸检测中排斥柱技术，光刻胶中燃烧炉技术，电子特气吸收法的应用，碱性样品的二次中和技术。