集成电路失效分析技术
1.失效分析方法论 失效分析逻辑、现象和本质、根因分析 2.常用分析设备 光学显微镜、晶体管图示仪、X-ray(2D、3D)、C-SAM、化学开封机、光发射显微镜-激光扫描显微镜、SEM-EDX。。。 3.典型案例分析 潮敏失效；过电应力失效分析；工艺缺陷；电化学腐蚀等案例
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2022-05-23
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