基于皮秒LIBS的元素成像技术研究
LIBS成像技术多使用纳秒脉冲激光器，空间分辨率可达数微米-几十微米。纳秒激光烧蚀过程中靶材存在热效应，空间分辨率很难进一步提高。本研究利用脉冲宽度为9ps的激光实现了空间分辨率为1μm的LIBS成像， LIBS测量结果与SEM-EDS结果吻合较好。本研究预期将LIBS成像分析速度提高到1kHz。
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2022-07-29
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