日立聚焦离子束(三束)应用
现在科研对于FIB制作TEM样品的需求越来越多,相比传统制作方式,样品制备的成功率更高,定位更为精确,可以得到更薄更均一的样品;但利用FIB来制作TEM样品时还会遇到一系列的问题,如离子束损伤,样品弯曲等,日立公司可通过其最新的FIB技术,配以专利技术的“三束”结构来减少对样品的损伤程度,从而得到更高精度的TEM样品;再辅以日立自动化样品制备程序,使得样品制备更简单更高效。
日立科学仪器(北京)有限公司
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