半导体材料和结构剖析技术概述(FIB+TEM+SIMS+XPS等)

1. 半导体材料和器件分析中常用分析测试方法总述; 2. 器件结构剖析用分析技术介绍和案例 (FIB+TEM 等); 3. 半导体膜层结构和掺杂成分剖析技术介绍和案例 (XPS, SIMS等); 4.常见失效分析方法和案例(显微红外、AES, TOF-SIMS 等)

673 2022-10-13
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评论(2)
  • Ins_55831684

    老师很厉害!

    2024-04-30 15:47:58 回复
  • Ins_55831684

    老师很厉害!

    2024-04-30 15:47:57 回复
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