X射线衍射仪在纳米多层薄膜表征中的应用--仪器信息网3i讲堂

X射线衍射仪在纳米多层薄膜表征中的应用

在极紫外到X 射线波段，材料的折射率都接近于1，传统晶体和薄膜器件的效率急剧下降，纳米多层膜是该波段至关重要的元件，其设计、制备和表征具有特殊性。报告围绕衍射仪在纳米多层薄膜表征中的应用开展探讨，采用掠入射X射线反射、X射线衍射、X射线面内散射等测试方法，表征周期、非周期、梯度多层膜，以及膜层厚度、界面宽度、薄膜均匀性、结晶特性、粗糙度等信息。纳米多层薄膜器件的设计、制备和表征的痛点与难点，以及他利用X射线衍射的多种方法解决这一系列问题的探索和成果。