湿敏薄膜制备与第三代半导体器件研究
传感器件的性能指标、稳定性、可靠性等参数与湿敏薄膜的材料结构与制备工艺息息相关，报告针对传感膜材料的结构改性，制备方法，电学参数等方面进行基本介绍，并针对应用出口进行初步验证探索，并结合第三代半导体GaN材料进行相关功率器件、磁传感霍尔器件、气湿敏器件、忆阻器件进行介绍。
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2023-05-15
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