国产无机质谱在半导体工艺检测中的应用和进展
在半导体的制造工艺中，半导体器件的不良率很大程度上由污染造成。据估计，污染造成了约 50% 的产量损失，所以控制污染物是半导体制造工艺中最关键的步骤之一。 莱伯泰科ICP-MS为国内首台通过半导体集成电路制造企业验证的国产ICP-MS，具有优异的检出限（DL）、背景等效浓度（BEC）以及长期稳定性，为半导体行业无机元素检测提供了卓越的性能，助力我国半导体产业发展及半导体检测设备国产化替代进程
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2023-05-15
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