基于XPS-SEM的表面分析联用技术和应用--仪器信息网3i讲堂

基于XPS-SEM的表面分析联用技术和应用

XPS作为一种高效的表面分析手段，因其元素化学态敏感性和表面敏感的特性，可以很好地揭示材料的表面和界面信息。同时，随着表面分析技术拓展性的逐渐增强，结合其他分析技术，可以提供更丰富的样品信息。本报告主要介绍和分享XPS、SEM与UPS、REELS、ISS和Raman等分析技术联用，在聚合物、电池和微电子器件等材料的表征中提供全方位的多功能性应用。