拉曼光谱在半导体晶圆质量检测中的应用--仪器信息网3i讲堂

所属会议:第四届半导体材料与器件分析检测技术与应用网络会议

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拉曼光谱在半导体晶圆质量检测中的应用

话题:半导体

拉曼光谱在半导体晶圆质量检测中的应用

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2023-11-02

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刘争晖

教授级高级工程师

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

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