XPS在纳米薄膜厚度测量中的应用
X射线光电子能谱（XPS）是非常重要的表面化学分析技术。该技术的分析深度约10纳米，结合离子溅射可以分析的更深。近年来，有将此方法用于纳米薄膜厚度测量的研究。本报告重点介绍“XPS用于硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量”。
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2023-11-23
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