动态二次离子质谱仪DSIMS在半导体材料检测中的应用--仪器信息网3i讲堂

动态二次离子质谱仪DSIMS在半导体材料检测中的应用

动态二次离子质谱仪D-SIMS利用高能量离子束对样品表面进行轰击，对样品的主体组成和痕量元素的深度分布和体相浓度进行分析，以满足对半导体材料，光伏材料，LED器件，冶金材料，绝缘体，多层薄膜材料及环境研究的元素分析需求。本次报告主要介绍二次离子质谱仪的结构和测试原理，以及根据其高分辨率、高精度等特点以及特有的深度分布测试能力，并介绍其对常见的半导体材料，如硅，碳化硅，氮化镓等材料进行测试的相关案例。