化合物半导体材料检测与应用--仪器信息网3i讲堂

所属会议:第三届半导体工艺及封装检测新技术网络会议

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化合物半导体材料检测与应用

1.介绍化合物半导体材料 2.VPD-ICPMS与GDMS技术 3.检测应用实例分析

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2024-05-14

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李春华

集成电路产业中心主任/高工

上海市计量测试技术研究院

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