XPS(X射线光电子能谱)的原理是用X射线去辐射样品,使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的电子称为光电子。可以测量光电子的能量,以光电子的动能为横坐标,相对强度(脉冲/s)为纵坐标可做出光电子能谱图。X射线光电子能谱技术(XPS)是电子材料 与元器件显微分析中的一种先进分析技术,它在分析电子材料时,不但可提供总体方面的化学信息,还能给出表面、微小区域和深度分布方面的信息。本课程就表面分析、X射线光电子能谱原理等方面进行深度讲解。
课程大纲如下:
1、表面分析
2、X射线光电子能谱
3、光电离几率
4、非弹性散射平均自由程的关系
5、取样深度与平均自由程的关系
6、表面灵敏度
7、原子能级的划分
8、结合能的概念
9、导电、非导电样品的能级图
10、典型XPS谱图
11、化学位移
12、化学价
13、携上峰
14、价带结构
15、X射线激发俄歇线